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摘要：本发明提供了一种电镀药液循环系统，包括具工艺腔的电镀装置，具缓存腔的箱体，以及连接电镀装置和箱体的液体循环管路，箱体内配置若干连通缓存腔的若干抽气管道，缓存腔内置若干加热组件，以通过加热组件加热缓存腔内药液，将药液内水分转化为水蒸汽，并通过抽气管道将水蒸汽引导出缓存腔，同时通过液体循环管路将加热后的药液引导入工艺腔，解决了现有技术中在电镀药液循环系统中难以有效提升药液浓度问题，从而避免了药液浓度过低对晶圆电镀工艺产生的不利影响。
主权项：1.一种电镀药液循环系统，用于晶圆电镀设备，其特征在于，包括：具工艺腔的电镀装置，具缓存腔的箱体，以及连接所述电镀装置和箱体的液体循环管路，所述缓存腔形成负压；所述箱体内配置若干连通所述缓存腔的若干抽气管道，所述缓存腔内置若干加热组件，以通过所述加热组件加热缓存腔内药液，将药液内水分转化为水蒸汽，并通过所述抽气管道将所述水蒸汽引导出所述缓存腔，同时通过所述液体循环管路将加热后的药液引导入工艺腔。
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百度查询： 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种电镀药液循环系统
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