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摘要：本实用新型属于半导体清洗技术领域，公开了一种清洗废液排出装置，包括储罐、气液分离器和呼吸阀。储罐用于存储清洗废液。气液分离器的进口与储罐的出口通过管道连接，气液分离器的出液口与液体处理设备通过输液管连接，气液分离器的出气口与气体处理设备通过输气管连接。气液分离器将清洗废液进行分离，分离后的液体进入液体处理设备进行处理排放；分离后的气体进入气体处理设备进行处理排放，避免了清洗废液挥发进入液体处理设备后直接排放到大气中，从而污染环境。呼气阀能够使储罐内外压力平衡，进而使储罐内的清洗废液顺利排出，提高工作效率。
主权项：1.一种清洗废液排出装置，其特征在于，包括：储罐100，用于存储清洗废液；气液分离器200，所述气液分离器200的进口与所述储罐100的出口通过管道连接，所述气液分离器200的出液口与液体处理设备通过输液管连接，所述气液分离器200的出气口与气体处理设备通过输气管连接；呼吸阀300，所述呼吸阀300与所述输气管并联连接。
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百度查询： 正帆科技(湖州)有限公司 一种清洗废液排出装置
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