买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

摘要：本发明公开一种同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置，其方法是通过制作表面呈螺旋丝段和陶瓷屏蔽段交替分布的阴极丝靶，使得其在真空盒内形成特定长度范围内的镀膜区域，同时通过将真空盒分为多段式的结构，将镀膜工艺分成两个阶段镀膜，将第一镀膜阶段和第二镀膜阶段中的镀膜段和屏蔽段对调，经过两个阶段的镀膜后形成完整的镀膜工艺；其装置包括机架、螺线管、升降平台、椭圆形的真空盒、阴极丝靶和第一波纹管，真空盒竖直安装于机架中，阴极丝靶设于真空盒内，且阴极丝靶顶部与第一波纹管连接，螺线管设于真空盒外周，且螺线管通过升降平台安装于机架中。本发明可实现大长度、小直径的椭圆形真空盒全区域内的镀膜均匀性。

主权项：1.一种同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：1靶材制作及安装：采用Ti丝、Zr丝和V丝均匀螺旋绕制在钨钢棒上，绕制完成后去掉钨钢棒，形成螺旋丝空心段，将螺旋丝空心段进行清洗后，再将若干个螺旋丝空心段串接在一根校直过的Ti丝上，形成一个完整的螺旋丝段；螺旋丝段串套完成后，在相邻位置的Ti丝上套设相同长度的陶瓷管，形成陶瓷屏蔽段；之后再在Ti丝上串套相同长度的螺旋丝段，如此交替往复，形成螺旋丝段与陶瓷屏蔽段交替布置的阴极丝靶；将阴极丝靶安装于真空盒内，阴极丝靶的顶端与第一波纹管连接，阴极丝靶的下端连接重锤机构；2第一镀膜阶段：阴极丝靶由上至下由若干长度相同的螺旋丝段与陶瓷屏蔽段交替组成，其中的螺旋丝段与真空盒对应区域之间保持了电子的通路，多个间隔的螺旋丝段合称为第一阶段镀膜区；阴极丝靶上陶瓷屏蔽段对应的区域中，每个陶瓷屏蔽段的长度相同且等于单个螺旋丝段的长度，多个间隔的陶瓷屏蔽段合称第一阶段屏蔽区；真空盒外周，由上至下分布有多个螺线管工位，多个螺线管工位合称为第一阶段工位群；在镀膜开始时，先将螺线管调整至一个螺线管工位上，调整气压和阴极电位后完成该螺线管工位内各螺旋丝段对应的真空盒内壁的镀膜，之后再通过升降平台吊装螺线管，调整螺线管至下一个螺线管工位进行镀膜，所有螺线管工位中逐个镀膜完成后，第一镀膜阶段完成，此时真空盒内壁一半区域已经成膜；3第二镀膜阶段：首先调整第一波纹管长度，使阴极靶材相对真空盒进行轴向位移，使第一阶段镀膜区中的每个螺旋丝段正对第一阶段屏蔽区，形成了第二阶段镀膜区，而第一阶段屏蔽区中的每个陶瓷屏蔽段正对第一阶段镀膜区，形成第二阶段屏蔽区；对应的，第一阶段工位群的每个螺线管工位下降，形成第二阶段工位群；随后，对第二阶段工位群的各个螺线管工位进行镀膜，完成整个镀膜过程。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置