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摘要：本申请提供一种晶圆的定位方法、定位装置及晶圆制造系统。晶圆的定位方法用于将晶圆定位在晶圆制造系统的基准边界上。晶圆的定位方法包括：在晶圆制造系统的承托区域内设置至少两组标记线，每组标记线中的一条为确认标记线，所有确认标记线的位置共同表征基准边界的位置；将晶圆放置在承托区域内；在晶圆的边缘与任一条确认标记线之间的偏差大于预设偏差的情况下，调整晶圆的位置以使得晶圆的边缘与每一条确认标记线之间的偏差均小于等于预设偏差。本申请晶圆的定位方法简单、定位时间短、流程简单。
主权项：一种晶圆的定位方法，用于将晶圆定位在晶圆制造系统的基准边界上，其特征在于，包括：在所述传输系统的承托区域内设置至少两组标记线，每组所述标记线中的一条为确认标记线，所有所述确认标记线的位置共同表征所述基准边界的位置；将所述晶圆放置在所述承托区域内；在所述晶圆的边缘与任一条所述确认标记线之间的偏差大于预设偏差的情况下，调整所述晶圆的位置，以使得所述晶圆的边缘与每一条所述确认标记线之间的偏差均小于或等于预设偏差。
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百度查询： 华为技术有限公司 晶圆的定位方法、定位装置及晶圆制造系统
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