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等离子体产生装置 

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摘要:本发明提供一种等离子体产生装置,其具备:一个电极;由导电体构成的壳体,其具有圆筒状的内部空间;由导电体构成的喷嘴,其绕所述喷嘴壳体的所述内部空间的中心轴旋转自如地设置,并喷出所产生的等离子体气体;流体供给装置,其向所述内部空间内供给流体;由绝缘体构成的旋转机构,其通过由所述流体供给装置供给的流体使所述喷嘴旋转;导电路径,其形成于所述喷嘴壳体与所述喷嘴之间;以及电源,其对所述电极施加电压,所述喷嘴壳体接地,所述等离子体气体通过被所述电源施加了电压的所述电极与所述喷嘴之间的电位差而产生,所述喷嘴通过所述导电路径接地。

主权项:1.一种等离子体产生装置,具备:一个电极;喷嘴壳体,其具有圆筒状的内部空间,所述喷嘴壳体由导电体构成;喷嘴,其绕所述喷嘴壳体的所述内部空间的中心轴旋转自如地设置,并喷出所产生的等离子体气体,所述喷嘴由导电体构成;流体供给装置,其向所述内部空间内供给流体;旋转机构,其通过由所述流体供给装置供给的流体使所述喷嘴旋转,所述旋转机构由绝缘体构成;导电路径,其形成于所述喷嘴壳体与所述喷嘴之间;以及电源,其对所述电极施加电压,所述喷嘴壳体接地,所述等离子体气体通过被所述电源施加了电压的所述电极与所述喷嘴之间的电位差而产生,所述喷嘴通过所述导电路径接地。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社富士 等离子体产生装置

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