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摘要：本发明的信息处理装置5具备信息取得部500和状态预测部501，该信息取得部取得动作状态信息作为基板处理装置动作时的动作状态，该基板处理装置具备：保持基板的基板保持部；供给基板清洗流体至基板的清洗流体供给部；将清洗工具支承为能够旋转，并且使清洗工具接触基板来清洗基板的基板清洗部；及以清洗工具清洗流体清洗清洗工具的清洗工具清洗部，所述动作状态信息包含基板保持部状态信息、清洗流体供给部状态信息、基板清洗部状态信息及清洗工具清洗部状态信息，状态预测部通过向学习模型输入通过信息取得部500取得的动作状态信息，从而预测对应于该动作状态信息的清洗工具状态信息，该学习模型通过机器学习而学习了动作状态信息与清洗工具状态信息的相关关系。
主权项：1.一种信息处理装置，其特征在于，具备：信息取得部，该信息取得部取得动作状态信息作为基板处理装置动作时的动作状态，所述基板处理装置具备基板保持部、清洗流体供给部、基板清洗部及清洗工具清洗部，该基板保持部保持基板，该清洗流体供给部供给基板清洗流体至所述基板，该基板清洗部将清洗工具支承为能够旋转，并且使所述清洗工具接触所述基板来清洗所述基板，该清洗工具清洗部以清洗工具清洗流体清洗所述清洗工具，所述动作状态信息包含：表示所述基板保持部的状态的基板保持部状态信息、表示所述清洗流体供给部的状态的清洗流体供给部状态信息、表示所述基板清洗部的状态的基板清洗部状态信息、及表示所述清洗工具清洗部的状态的清洗工具清洗部状态信息；以及状态预测部，该状态预测部向学习模型输入通过所述信息取得部取得的所述动作状态信息，从而预测对应于该动作状态信息的清洗工具状态信息，该学习模型通过机器学习而学习了所述动作状态信息与所述清洗工具状态信息的相关关系，该清洗工具状态信息表示所述基板处理装置以该动作状态信息所示的所述动作状态而动作时的所述清洗工具的状态。
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百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、推论装置、机器学习装置、信息处理方法、推论方法及机器学习方法
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