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摘要：公开了一种蚀刻机。根据本公开内容的实施方式的蚀刻机包括：激光源；扫描仪，扫描仪配置为将来自激光源的光偏转到涂覆有电极活性材料的电极集流体；以及处理器，处理器配置为控制激光源或扫描仪中的至少一个，以保持入射在电极集流体上的光的脉冲间距恒定。
主权项：1.一种蚀刻机，包括：激光源；扫描仪，所述扫描仪配置为将来自所述激光源的光偏转到涂覆有电极活性材料的电极集流体；以及处理器，所述处理器配置为控制所述激光源或所述扫描仪中的至少一个，以保持入射在所述电极集流体上的光的脉冲间距恒定。
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