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真空泵 

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摘要:提供一种能够充分地防止气体向能够使旋转轴旋转的电装部的收容部的流入的真空泵。真空泵100具备:外装体;旋转轴113,被外装体内包,旋转自如地被支承;收容部122,收容能够使旋转轴113旋转的电装部;转子103,被配置在收容部122的外侧,与旋转轴113一体地构成;隔壁部141,被配置在转子103的外周侧,构成定子的一部分;以及旋转圆板107c,从转子103的外周面在径向上延伸。通过转子103的旋转,排气的气体在转子103的外侧流动。旋转圆板107c和隔壁部141的在轴向上对置的对置面的至少一部分构成防止气体向收容部122的流入的非接触密封构造。

主权项:1.一种真空泵,具备:外装体;旋转轴,被前述外装体内包,旋转自如地被支承;收容部,收容能够使前述旋转轴旋转的电装部;转子,被配置在前述收容部的外侧,与前述旋转轴一体地构成;定子,被配置在前述转子的外周侧;以及旋转圆板部,从前述转子的外周面在径向上延伸;通过前述转子的旋转,排气的气体在前述转子的外侧流动;其特征在于,前述旋转圆板部和前述定子的在轴向上对置的对置面的至少一部分构成防止前述气体向前述收容部的流入的非接触密封构造。

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