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摘要：提供一种基板加热装置以及具有其的基板处理设备，特别是一种加热基板的基板加热装置和具有其的基板处理设备。基板加热装置包括配置为在其上安置基板的基板支撑部以及设置在基板支撑部下方的多个加热器，并且各各自包括设置在多个加热器中的每一个的一个端部上的连接末端以及从连接末端沿一个方向延伸的发热主体。多个加热器交替设置，使得包括端部的部分区域沿与一个方向交叉的方向彼此重叠。
主权项：1.一种基板加热装置，包括：基板支撑部，配置为在其上安置基板；以及多个加热器，设置在所述基板支撑部下方且各自包括设置在所述多个加热器中的每一个的一个端部的连接末端以及从所述连接末端沿一个方向延伸的发热主体，其中，所述多个加热器交替设置，使得包括所述端部的多个部分区域沿与所述方向交叉的另一个方向彼此重叠。
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百度查询： 周星工程股份有限公司 基板加热装置及具有其的基板处理设备
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