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摘要：公开了涉及使用含碳抑制剂以在衬底上非保形地生长氧化物膜的示例。一示例包含执行多个氧化物膜沉积循环，多个氧化物膜沉积循环中的至少一个氧化物膜沉积循环包含：将衬底暴露于氧化物膜前体以将氧化物膜前体吸附至衬底、将衬底暴露于含氧气体、使氧化物膜前体与含氧气体进行反应、以及将衬底暴露于含碳抑制剂。
主权项：1.一种在衬底上形成氧化物膜的方法，所述方法包含：执行多个氧化物膜沉积循环，所述多个氧化物膜沉积循环中的至少一个氧化物膜沉积循环包含：将所述衬底暴露于氧化物膜前体以将所述氧化物膜前体吸附至所述衬底，将所述衬底暴露于含氧气体，使所述氧化物膜前体与所述含氧气体进行反应，以及将所述衬底暴露于含碳抑制剂。
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百度查询： 朗姆研究公司 使用含碳抑制剂的非保形氧化物膜沉积
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