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摘要：本发明涉及一种高分辨柔性触觉传感阵列及其制备方法和应用，所述柔性触觉传感阵列的结构包括下衬底层和上衬底层、下电极层和上电极层、传感材料层和隔离支撑层，所述下衬底层和上衬底层分别位于传感阵列的两侧，所述下电极层的第一表面和所述下衬底层的第二表面连接，所述上电极层的第一表面与所述上衬底层的第二表面连接；所述下电极层和上电极层呈行列交错设置，用于采集传感层受压后产生的电流变化信号；所述传感材料层和所述隔离支撑层位于所述下电极层的第二表面和所述上电极层的第二表面之间；所述传感材料层嵌设于所述隔离支撑层中；本发明所述柔性触觉传感阵列的结构设计，一方面能够实现传感受压时，将压力聚集在受压传感单元上，而对非受压单元进行力隔离，从而减小因柔性材料变形而产生的机械串扰。另一方面，独立的敏感材料单元还能够减小传感阵列中的电学信号串扰；在上述两个方面的共同作用下，可有效提高柔性触觉传感阵列的空间分辨率。
主权项：1.一种高分辨柔性触觉传感阵列，其特征在于，结构包括：下衬底层和上衬底层，所述下衬底层和上衬底层分别位于传感阵列的两侧；下电极层和上电极层，所述下电极层的第一表面和所述下衬底层的第二表面连接，所述上电极层的第一表面与所述上衬底层的第二表面连接；所述下电极层和上电极层呈行列交错设置，用于采集传感层受压后产生的电流变化信号；传感材料层和隔离支撑层，所述传感材料层和所述隔离支撑层位于所述下电极层的第二表面和所述上电极层的第二表面之间，所述传感材料层嵌设于所述隔离支撑层。
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百度查询： 北京航空航天大学 一种高分辨柔性触觉传感阵列及其制备方法和应用
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