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摘要：本发明公开了一种涉及真空蒸镀装置技术领域，特别涉及一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置，所述线性蒸发源单元包括多个线性蒸发源，所述线性蒸发源呈L形，包括本体、呈线性排列的多个喷嘴、用于连通本体和喷嘴的蒸发颈；所述本体内设有坩埚，用于将蒸镀材料形成蒸气；所述蒸发颈设置于本体的顶部，并沿本体侧边向上延伸，其内设有连通本体和喷嘴的导气通道；多个所述线性蒸发源的本体由下至上依次叠放，且所有线性蒸发源的蒸发颈位于同侧。该线性蒸发源单元可同时蒸镀多种材料，并且结构紧凑，可满足多蒸发源间隔蒸镀装置的需要。
主权项：1.一种线性蒸发源单元，其特征在于，包括多个线性蒸发源；所述线性蒸发源呈L形，包括本体、呈线性排列的多个喷嘴、用于连通本体和喷嘴的蒸发颈；所述本体内设有坩埚，用于将蒸镀材料形成蒸气；所述蒸发颈设置于本体的顶部，并沿本体侧边向上延伸，其内设有连通本体和喷嘴的导气通道；多个所述线性蒸发源的本体由下至上依次叠放，且所有线性蒸发源的蒸发颈位于同侧。
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百度查询： 季华实验室 一种线性蒸发源单元及多蒸发源间隔蒸镀装置
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