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挡板机构及电容真空计 

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摘要:本申请涉及真空技术领域,尤其涉及到一种挡板机构及电容真空计。挡板机构设置于电容真空计的进气管处,挡板机构包括间隔设置的缓冲挡板和扩散挡板,缓冲挡板具有第一阻挡部和多个狭缝组,第一阻挡部用于与进气管对应,多个狭缝组位于第一阻挡部和缓冲挡板的边缘之间,且多个狭缝组绕第一阻挡部的中心的周向均匀间隔设置;扩散挡板位于缓冲挡板背离进气口的一侧,扩散挡板具有第二阻挡部和多个第一开口,多个第一开口分布于第二阻挡部与扩散挡板的边缘之间,多个第一开口绕第二阻挡部的中心的周向均匀间隔设置;缓冲挡板在扩散挡板的投影上,缓冲挡板全部位于第二阻挡部中。本申请中的板机构的设置可以提高电容真空计的使用寿命。

主权项:1.一种挡板机构,设置于电容真空计内,所述电容真空计具有进气管,所述挡板机构与所述进气管对应,其特征在于,所述挡板机构包括:缓冲挡板,所述缓冲挡板具有第一阻挡部和多个狭缝组;所述第一阻挡部用于与所述进气管对应;所述多个狭缝组位于所述第一阻挡部与所述缓冲挡板的边缘之间,且所述多个狭缝组绕所述第一阻挡部的中心的周向均匀间隔设置;扩散挡板,所述扩散挡板位于所述缓冲挡板背离所述进气管的一侧,所述扩散挡板具有第二阻挡部和多个第一开口,所述多个第一开口分布于所述第二阻挡部与所述扩散挡板的边缘之间,且所述多个第一开口绕所述第二阻挡部的中心的周向均匀间隔设置;其中,所述缓冲挡板在所述扩散挡板的投影全部位于所述第二阻挡部中。

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