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摘要：本发明属于传感器标定领域，涉及一种便于标定的膜类传感器及其制备方法、标定装置及方法，该膜类传感器包括电阻加热器、热电偶以及衬底，所述电阻加热器布置在衬底的表面，所述热电偶布置在衬底的表面，且所述热电偶中的热结点邻近所述电阻加热器布置。该便于标定的膜类传感器能够在膜类传感器的原位进行塞贝克系数测量，且不依赖恒温环境，极大的改善了现有技术中膜类热电偶传感器塞贝克系数测量困难的问题。该膜类传感器可与现有技术中各类热电偶器件膜类热电偶热电堆兼容集成，以准确评估热电偶器件性能，且具有便捷性和经济性。
主权项：1.一种便于标定的膜类传感器，其特征在于：包括电阻加热器、热电偶以及衬底，所述电阻加热器布置在衬底的表面，所述热电偶布置在衬底的表面，且所述热电偶中的热端邻近所述电阻加热器布置。
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百度查询： 中冶赛迪技术研究中心有限公司 中冶赛迪集团有限公司 便于标定的膜类传感器及其制备方法、标定装置及方法
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