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一种衬套组件及具有该衬套组件的半导体外延设备 

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摘要:本发明提供一种衬套组件及具有该衬套组件的半导体外延设备,包括:上环体,所述上环体包括凸台;下环体,所述下环体包括凹口,所述凹口与所述上环体的所述凸台相适配;所述下环体设置于所述上环体下方,所述上环体和所述下环体之间在第一方向上形成气体通道;气体入口,设置在所述衬套组件沿第一方向的一侧;气体出口,设置在所述衬套组件沿第一方向的另一侧;测温通气通孔设置于所述上环体的所述凸台,位于所述气体入口和所述气体出口之间,用于在沿第二方向向所述腔体输入气体,及在校温时从所述测温通气通孔伸入测温组件。本发明的测温通气通孔可以防止气体泄漏,同时保证了上下环体的定位。

主权项:1.一种衬套组件,用于半导体外延设备,所述半导体外延设备包括腔体、衬套组件以及基座,所述基座水平地设置在腔体中,用于承载晶圆;所述衬套组件设置在腔体的侧壁的内表面,且包围所述基座;其特征在于,所述衬套组件包括:上环体,所述上环体包括凸台;下环体,所述下环体包括凹口,所述凹口与所述上环体的所述凸台相适配;所述下环体设置于所述上环体下方,所述上环体和所述下环体之间在第一方向上形成气体通道;气体入口,设置在所述衬套组件沿第一方向的一侧,用于引导气体从所述气体通道流入;气体出口,设置在所述衬套组件沿第一方向的另一侧,与所述气体入口相对设置,用于引导气体从所述气体通道排出;测温通气通孔,所述测温通气通孔设置于所述上环体的所述凸台,位于所述气体入口和所述气体出口之间,用于在沿第二方向向所述腔体输入气体,及在校温时从所述测温通气通孔伸入测温组件。

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