龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明提供一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用，所述用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液包括重量配比如下的各组分：氟化试剂0.5‑3份；硝酸20‑70份；醋酸30‑50份；渗透润湿剂1‑5份；反应扩散剂1‑10份。所述氟化试剂为亲核氟化试剂，所述渗透润湿剂为Gemini表面活性剂，所述反应扩散剂为碳链修饰的亚硝基连二硫酸。本发明用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液能有效去除TSV工艺中Si孔侧壁损伤层。本发明蚀刻液通过分段蚀刻芯片，能提高液体置换率，加快传质，促进孔内均一蚀刻，形成孔内均一形貌。
主权项：1.一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液，其特征在于，包括重量配比如下的各组分：氟化试剂0.5-3份；硝酸20-70份；醋酸30-50份；渗透润湿剂1-5份；反应扩散剂1-10份；所述反应扩散剂为碳链修饰的亚硝基连二硫酸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号