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摘要：本发明公开了一种回收多晶硅还原尾气中氯化氢的系统和方法，系统包括：第一换热器，将还原尾气经过降温后形成的气液混合物通入第一换热器；超重力吸收器，与第一换热器连接，其第一出口用于排出氢气，其第二出口用于排出液体混合物；第二换热器，与第一换热器、超重力吸收器连接；第三换热器，与第二换热器连接；解吸塔，与第三换热器连接，通过解吸塔对通入其内的第四气液混合物进行解吸，解吸塔的塔顶出口用于排出氯化氢，解吸塔与第二换热器连接，解吸塔的塔釜出口用于排出第二液相氯硅烷。本发明的方法具有还原尾气处理效率高、设备简单且占地面积小、设备自动化率高、操作方便、运行能耗低、不引入杂质、物料与能量匹配度高等优点。
主权项：1.一种回收多晶硅还原尾气中氯化氢的系统，其特征在于，包括：第一换热器3，将多晶硅还原尾气经过降温后形成的气液混合物通入第一换热器3的管层入口；超重力吸收器1，包括：超重力吸收器腔体、设置于超重力吸收器腔体上的超重力吸收器第一入口、超重力吸收器第二入口、超重力吸收器第一出口、超重力吸收器第二出口，超重力吸收器第一入口与第一换热器3的管层出口连接，超重力吸收器第一出口用于排出氢气c2，超重力吸收器第二出口用于排出液体混合物c1，超重力吸收器第二出口与第一换热器3的壳层入口连接；第二换热器4，第一换热器3的壳层出口与第二换热器4的壳层入口连接，第二换热器4的管层出口与超重力吸收器第二入口连接；第三换热器5，第二换热器4的壳层出口与第三换热器5的管层入口连接；解吸塔2，第三换热器5的管层出口与解吸塔入口连接，通过解吸塔2对通入其内的第四气液混合物f1进行解吸，解吸塔2的塔顶出口与第三换热器5的壳层入口连接，解吸塔2的塔顶出口用于排出氯化氢，解吸塔2的塔釜出口与第二换热器4的管层入口连接，解吸塔2的塔釜出口用于排出第二液相氯硅烷g1。
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