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摘要：本发明提供了一种晶圆匀胶装置，晶圆匀胶装置包括：晶圆承载座；第一驱动装置，第一驱动装置连接晶圆承载座底部，用于控制晶圆承载座旋转；升降组件、连接件、晶圆挡液罩，升降组件位于晶圆承载座的一侧，升降组件控制连接件升降，连接件远离升降组件的一端与晶圆挡液罩转动连接，晶圆挡液罩位于晶圆承载座上方并随连接件进行升降；其中，晶圆挡液罩通过升降组件下降，能够与晶圆承载座接触并同步转动。本发明解决了匀胶设备在匀胶过程中，挡液罩无法有效阻挡飞溅的胶液的问题。
主权项：1.一种晶圆匀胶装置，其特征在于，所述晶圆匀胶装置包括：晶圆承载座；第一驱动装置，所述第一驱动装置连接所述晶圆承载座底部，用于控制所述晶圆承载座旋转；升降组件、连接件、晶圆挡液罩，所述升降组件位于所述晶圆承载座的一侧，所述升降组件控制所述连接件升降，所述连接件远离所述升降组件的一端与所述晶圆挡液罩转动连接，所述晶圆挡液罩位于所述晶圆承载座上方并随所述连接件进行升降；其中，所述晶圆挡液罩通过所述升降组件下降，能够与所述晶圆承载座接触并同步转动。
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百度查询： 宁波润华全芯微电子设备有限公司 一种晶圆匀胶装置
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