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摘要：本发明公开了一种基于流量反馈的长寿命压电比例微流量控制器结构，包括：流控器阀体、压电驱动阀、流量传感器组件等。本发明通过陶瓷‑金属密封结构解决了微位移驱动器密封副蠕变引起失效的长寿命问题，通过分流结构可以方便的实现该类产品系列化。该长寿命压电比例微流量控制器也可以广泛应用于半导体制造、医疗、生化等高精尖民用领域。

主权项：1.一种基于流量反馈的长寿命压电比例微流量控制器结构，其特征在于，包括：流控器阀体1、密封副压紧螺母2、密封副压板3、密封座6、密封球7、顶杆8、驱动器预紧碟簧11、压电驱动器12、驱动器外壳14、驱动器传力块15、驱动螺母16、分流器卡圈17、分流器组件18和流量传感器；流控器阀体1沿横向加工有阶梯孔作为第一空腔；流控器阀体1沿竖向加工有阶梯孔作为第二空腔和第三空腔；第三空腔位于第二空腔的上方，第二空腔和第三空腔之间通过连通孔连通；第一空腔的一端作为入口，第一空腔的另一端与第二空腔连通；流控器阀体1的侧壁上加工有沉孔作为出口，出口和第三空腔之间设置有第一斜孔；沉孔通过第一斜孔与第三空腔连通；流体从入口进入，依次经过第一空腔、第二空腔、连通孔、第三空腔、斜孔和出口后流出；分流器组件18设置在第一空腔的内部；分流器卡圈17用于限制分流器组件18的轴向位置；流控器阀体1顶部加工有沉槽；流量传感器固定安装在流控器阀体1顶部；第一空腔和沉槽之间加工有两个斜孔，分别作为第二斜孔和第三斜孔；第二斜孔、第三斜孔与第一空腔的连通位置分别位于分流器卡圈17的两侧；流量传感器用于测量流控器阀体1顶部沉槽的流体流量；密封副压紧螺母2、密封副压板3和密封座6由下至上设置在第二空腔内；密封副压紧螺母2固定连接第二空腔；密封座6的顶部加工有凹槽；密封球7放置在密封座6顶部的凹槽内，密封球7部分凸出密封座6的顶部凹槽；密封球7为陶瓷材料；驱动器外壳14为两端开口的筒状结构，驱动器外壳14的底部固定连接第三空腔；驱动器传力块15、压电驱动器12和顶杆8由上至下依次设置在驱动器外壳14内部，驱动器预紧碟簧11套装在顶杆8上，驱动器预紧碟簧11沿轴向被挤压在顶杆8和驱动器外壳14之间；顶杆8的下端伸入连通孔；顶杆8和连通孔间隙配合；驱动螺母16和驱动器外壳14的顶部螺纹连接，从而压紧驱动器传力块15；压电驱动器12用于驱动顶杆8沿轴向运动；流道通路断开时，密封球7顶紧连通孔的下端面，此时，顶杆8和密封球7之间不接触；流道通路打开时，压电驱动器12驱动顶杆8向下运动，顶开密封球7对连通孔的封堵。

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