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摘要：本发明提供了一种横向激励膜体声波滤波器及其制备方法，其中，本发明的制备方法通过将填充有牺牲材料的空气腔预先制备在晶圆内，解决了现有技术中存在的空气腔腔体不规则，以及形状和尺寸控制不精确的难题，实现了对空气腔的精确定制，满足了不同设计需求；而且采用本申请的制备方法制备的空气腔对衬底带来的机械结构的破坏很小，不会对器件的机械结构强度产生负面影响；其解决了现有技术中存在的制备空气腔时，腔体不规则、空气腔的形状和尺寸控制不精确，生产效率低下且成本高昂，机械结构强度不稳定或者结构复杂的问题。提高了横向激励膜体声波滤波器器件的整体性能和可靠性，为无线通信技术的发展提供了强有力的支持。
主权项：1.一种横向激励膜体声波滤波器的制备方法，其特征在于，包括：提供单面抛光的衬底，并按照预设空气腔版图在所述衬底上进行光刻、刻蚀和去胶加工，形成所需空气腔；在所述空气腔中填充牺牲层材料，并对填充牺牲层材料后的衬底表面进行平坦化处理；在平坦化处理后的衬底表面上沉积介质层，并对所述介质层表面进行平坦化处理；在所述介质层上制备压电薄膜；在所述压电薄膜上制备叉指电极、调频层、电极引线和钝化层；对与空气腔相连的释放孔区域的压电薄膜和薄膜下方的介质层通过干法刻蚀形成释放通道；释放牺牲层材料，在所述衬底和介质层之间形成空气腔；去除压电薄膜背面的介质层，得到横向激励膜体声波滤波器。
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百度查询： 左蓝微(江苏)电子技术有限公司 一种横向激励膜体声波滤波器及其制备方法
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