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摘要：本发明属于液晶盒厚度检测技术领域，尤其公开了基于低相干光Mirau干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，包括纳米定位台、成像系统、计算机、照明系统、Mirau干涉物镜和硅基液晶盒，所述成像系统包括分光棱镜、成像透镜和面阵相机，所述照明系统包括低相干光源、聚光透镜和投影透镜，照明系统通过低相干光源连接计算机。本发明通过测量盖板玻璃下表面的三维形貌数据和硅基底板上表面的三维形貌数据，并将两个面的三维形貌数据拟合成平面，通过计算两个拟合平面在垂直方向上的坐标差值计算得到硅基液晶盒的厚度H，能够对硅基液晶盒进行全局且全面的检测，且全局检测的速度快，精度高。

主权项：1.基于低相干光Mirau干涉的LCoS液晶盒厚度全局检测装置，其特征在于：包括纳米定位台（13）、成像系统（401）、计算机（16）、照明系统（17）、Mirau干涉物镜（18）和硅基液晶盒（19），所述成像系统（401）包括分光棱镜（4）、成像透镜（14）和面阵相机（15），所述照明系统（17）包括低相干光源（1）、聚光透镜（2）和投影透镜（3），照明系统（17）通过低相干光源（1）连接计算机（16），低相干光源（1）发出的光源通过聚光透镜（2）聚合后，通过投影透镜（3）投影到成像系统（401）的分光棱镜（4）上，分光棱镜（4）将光照射到Mirau干涉物镜（18）内部，所述硅基液晶盒（19）包括盖板玻璃（10）、多个间隔子（11）和硅基底板（12），在多个间隔子（11）之间添加液晶，所述硅基液晶盒（19）对应放置在纳米定位台（13）顶面，纳米定位台（13）通过导线连接计算机（16），所述纳米定位台（13）内部设置有压电陶瓷，计算机（16）控制纳米定位台（13）工作，纳米定位台（13）通过压电陶瓷在垂直方向实现对硅基液晶盒（19）的纳米级定位，光经过Mirau干涉物镜（18）对硅基液晶盒（19）进行照射，经过硅基底板（12）顶面或盖板玻璃（10）底面反射的光返回到Mirau干涉物镜（18）内部，在Mirau干涉物镜（18）中形成干涉光后传输到分光棱镜（4）中，分光棱镜（4）将干涉光通过成像透镜（14）成像到面阵相机（15）内部，面阵相机（15）将干涉光的光强数据传输给计算机（16），计算机（16）根据干涉光的光强数据从而全局检测硅基液晶盒（19）的液晶厚度；所述纳米定位台（13）包括滑板（20）和底板（21），且滑板（20）设置为压电陶瓷，滑板（20）通过控制器连接计算机（16），滑板（20）处于底板（21）顶部，且硅基底板（12）对应放置在滑板（20）顶面，所述底板（21）顶部内凹面两侧均利用螺钉固定有滑轨（22），所述滑板（20）底部两侧均固定有与滑轨（22）滑动配合的滑块（23），所述底板（21）利用控制器连接计算机（16），控制器工作，滑板（20）利用滑块（23）在底板（21）的滑轨（22）内侧滑动，滑动的滑板（20）带动硅基液晶盒（19）同步水平移动；所述硅基底板（12）利用固定部件安装在滑板（20）顶面，所述固定部件包括两个相对的夹架，所述夹架包括相对的第一架板（24）和第二架板（25），第一架板（24）和第二架板（25）外侧面均固定有凸块（26），凸块（26）中心处竖直贯穿有螺杆（27），螺杆（27）底端螺旋插接在滑板（20）顶面，凸块（26）通过螺杆（27）固定安装在滑板（20）顶面。

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