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一种让铜层与电镀铜层产生差异化蚀刻的蚀刻液及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种让铜层与电镀铜层产生差异化蚀刻的蚀刻液及其制备方法,包括S1、原料准备阶段;S2、分类混合阶段;S3、成品滤粗阶段;S4、取样质检阶段;S5、成品分装阶段。该让铜层与电镀铜层产生差异化蚀刻的蚀刻液及其制备方法,当对相同材质即化学铜层和电镀铜层进行蚀刻时,可通过分类喷洒蚀刻的方式,即首先遮挡覆盖电镀铜层喷洒混合有少量助剂的蚀刻混合物对化学铜层进行蚀刻,蚀刻完成之后遮盖化学铜层,然后将剩余蚀刻混合物内再次加入助剂,改变其内部的酸性溶液浓度,然后通过喷洒蚀刻的方式在电镀铜层上蚀刻出与化学铜层蚀刻留下的不同的蚀刻痕迹,即通过改变助剂的添加量保证相同材质蚀刻不同的效果。

主权项:1.一种让铜层与电镀铜层产生差异化蚀刻的蚀刻液,包括蚀刻混合物和助剂,其特征在于:所述蚀刻混合物以重量份计包括以下组分:纯水90-110份、过硫酸盐10-20份、硫酸10-12份、咪唑啉缓蚀剂5-8份、2-乙基己基二苯基磷酸酯3-5份、氧化剂4-6份、丙酮3-5份,所述助剂以重量份计包括以下组分:过硫酸盐40-50份、硫酸50-80份、咪唑啉缓蚀剂20-30份、酸性混合物10-30份。

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