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摘要：本发明公开了一种导体尺寸在线检测及自动反馈调节系统及方法，涉及导体尺寸检测技术领域，通过设置样本数据收集模块收集工艺训练样本数据、设备控制训练样本数据和直径标签数据，设置尺寸预测模型训练模块训练尺寸预测模型，设置参数控制模型训练模块训练参数控制模型，设置监测数据收集模块收集当前单位时间的观测直径、实时工艺参数数据和实时设备控制参数数据，设置卡尔曼滤波反馈模块使用卡尔曼滤波方法，纠正观测误差并为导体生产设备生成下一单位时间的设备控制参数；解决了单一传感器数据存在偏差和噪声，很容易产生误判的问题，且根据纠偏后的导体直径，为下一单位时间的导体直径的控制参数的设置提供理论依据。

主权项：1.一种导体尺寸在线检测及自动反馈调节系统，其特征在于，包括样本数据收集模块、尺寸预测模型训练模块、参数控制模型训练模块、监测数据收集模块以及卡尔曼滤波反馈模块；其中，各个模块之间通过电性方式连接；样本数据收集模块，用于预先从测试环境收集前时刻尺寸数据、工艺训练样本数据、设备控制训练样本数据和直径标签数据，并将前时刻尺寸数据、工艺训练样本数据、设备控制训练样本数据和直径标签数据发送至尺寸预测模型训练模块和参数控制模型训练模块；尺寸预测模型训练模块，用于基于前时刻尺寸数据、工艺训练样本数据、设备控制训练样本数据和直径标签数据，训练预测下一单位时刻的导体直径的尺寸预测模型，将尺寸预测模型发送至卡尔曼滤波反馈模块；参数控制模型训练模块，用于基于前时刻尺寸数据、工艺训练样本数据、设备控制训练样本数据和直径标签数据，训练输出设备控制参数的参数控制模型，并将参数控制模型发送至卡尔曼滤波反馈模块；监测数据收集模块，用于对于待监测导体，使用远程尺寸评估仪器实时收集当前单位时间的观测直径，并收集实时工艺参数数据和实时设备控制参数数据，并将待监测导体的观测直径、实时工艺参数数据和实时设备控制参数数据发送至卡尔曼滤波反馈模块；卡尔曼滤波反馈模块，用于基于尺寸预测模型、参数控制模型、待监测导体的观测直径、实时工艺参数数据和实时设备控制参数数据，使用卡尔曼滤波方法，纠正观测误差并为导体生产设备生成下一单位时间的设备控制参数；所述使用卡尔曼滤波方法，纠正观测误差并为导体生产设备生成下一单位时间的设备控制参数的方式为：将每单位时间标记为t；获得尺寸预测模型，所述尺寸预测模型对应的函数表达式为dt+1＝Fdt，C，K；其中，dt+1和dt分别为第t+1个单位时间和第t个单位时间待监测导体的观测直径，C为实时工艺参数数据对应的常量集合，K为实时设备控制参数数据对应的常量集合；定义状态转移方程,所述状态转移方程的形式为：xt+1＝dt+1+εt；其中，xt+1为状态后验估计，εt为过程噪声；将第t个单位时间，待监测导体的观测直径标记为gt；定义观测方程Zt+1＝gt+δt；其中，δt是观测误差；初始化x0和P0；其中，x0为待监测导体的初始直径，P0为初始直径估计方差，初始值为0；设置表示对第t个单位时间，对导体直径的估计值；将设置为x0；对于任意的大于0的整数t，循环执行如下步骤：步骤21：计算先验估计值计算公式如下： 步骤22：计算先验估计协方差Pt+1|t，计算公式如下： 步骤23：计算卡尔曼增益Kt+1，计算公式如下： 步骤24：更新状态后验估计计算公式如下： 步骤25：更新后验估计协方差Pt+1，计算公式如下：Pt+1＝1-Kt+1×Pt+1|t；步骤26：收集下一单位时间预期直径，将状态后验估计下一单位时间预期直径和实时工艺参数数据组成一组实时设备控制输入向量，将实时设备控制输入向量输入至参数控制模型中，获得参数控制模型输出的各项设备控制参数的参数值，输出的各项设备控制参数的参数值作为导体生产设备下一单位时间的控制参数。

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