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摘要：本发明提供了原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置，涉及原子层沉积技术领域。定温定量输气装置包含第一输气组件、至少一个第二输气组件、第一控温组件、第二控温组件。包括用以连通反应腔的出气管。第二输气组件包括定量腔室、第一进气管、用以连通定量腔室和出气管的第一阀门，以及用以连通第一进气管和定量腔室的第二阀门。第一进气管用以连通源瓶。第一控温组件构造为能够套置于源瓶，用以控制源瓶的温度。第二控温组件，其构造为配置于所述出气管和所述第二输气组件，用以控制所述出气管和所述第二输气组件内的反应源的温度。定温定量输气装置能够定量定温的向反应腔中输送反应气体，提高了原子层沉积的质量。
主权项：1.一种原子层沉积设备的定温定量输气装置，其特征在于，包含：第一输气组件3，包括用以连通反应腔的出气管23；至少一个第二输气组件4，包括定量腔室26、第一进气管27、用以连通所述定量腔室26和所述出气管23的第一阀门22，以及用以连通所述第一进气管27和所述定量腔室26的第二阀门21；所述第一进气管27用以连通源瓶；第一控温组件5，其构造为能够套置于源瓶，用以控制源瓶内反应源的温度；第二控温组件7，其构造为配置于所述出气管23和所述第二输气组件4，用以控制所述出气管23和所述第二输气组件4内的反应源的温度；所述定温定量输气装置还包括第三控温组件6；所述第二控温组件7包括固定板25和嵌至于所述固定板25的第一加热件24；所述第三控温组件6配置于所述固定板25，用以将所述第一输气组件3和所述第二输气组件4固定于所述固定板25；所述固定板25和或所述第三控温组件6设置有包裹槽；至少部分所述第一输气组件3和至少部分所述第二输气组件4能够嵌至于所述包裹槽。
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百度查询： 厦门韫茂科技有限公司 原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置
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