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摘要：本发明涉及一种光学变焦菲索干涉仪,包括：光源部，发出具有视场角的光线；第一光路方向，第一光路方向上依次设置有PBS分光镜、四分之一波片、前聚焦镜组、标准镜和被测物，所述前聚焦镜组具有变焦功能，光线经过所述四分之一波片后穿过前聚焦镜组，并准直照射到标准镜的参考面上或穿过标准镜照射到被测物上；第二光路方向，所述第二光路方向为第一光路方向相反方向。本发明通过变焦光学系统，改变干涉仪光学扩束系统的扩束比，局部放大干涉条纹，增加干涉条纹测量分辨率，再通过移动被测物，拼接出被测的整体面形，有效的解决了大翘曲光滑平面器件的面形测量问题。
主权项：1.一种光学变焦菲索干涉仪,其特征在于，包括：光源部（7），发出具有视场角的光线；第一光路方向，第一光路方向上依次设置有PBS分光镜（4）、四分之一波片（3）、前聚焦镜组（2）、标准镜（1）和被测物（9），所述前聚焦镜组（2）具有变焦功能，光线经过所述四分之一波片（3）后穿过前聚焦镜组（2），并准直照射到标准镜（1）的参考面上或穿过标准镜（1）照射到被测物（9）上；第二光路方向，所述第二光路方向为第一光路方向相反方向；一部分光线被标准镜（1）参考面反射，沿第一光路方向相反方向照射到后聚焦镜（5）上，并进入相机（6），另一部分光线穿过标准镜（1）照射到被测物（9）上，并沿着第二光路方向进入相机（6），并被相机（6）采集系统采集，被测物（9）的反射光线和标准镜（1）参考面的反射光线信息相互干涉产生干涉条纹，并通过调节所述前聚焦镜组（2）与所述后聚焦镜（5）的焦距，使所述被测物（9）分辨率小于或等于所述干涉条纹之间的间隔；所述分辨率计算公式为： ，其中S1是被测物（9）的分辨率，D2是后聚焦镜（5）的通光口径，f1是前聚焦镜的焦距，N是相机（6）的像素数，f2是后聚焦镜（5）的焦距。
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百度查询： 上海恢卓光学科技有限公司 一种光学变焦菲索干涉仪
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