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摘要：本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器可包括：基板；谐振部，包括第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极设置在所述基板上；所述压电层设置在所述第一电极上，所述第二电极设置在所述压电层上；以及种子层，设置在所述第一电极的下部。所述种子层可利用具有密排六方HCP结构的钛Ti或具有所述HCP结构的Ti的合金形成。所述种子层可具有大于或等于且小于或等于的厚度，或者可比所述第一电极薄。
主权项：1.一种体声波谐振器，包括：基板；谐振部，包括：第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述第一电极上；以及第二电极，设置在所述压电层上；以及种子层，设置在所述第一电极的下部；其中，所述种子层利用具有密排六方结构的钛或具有所述密排六方结构的钛的合金形成，并且其中，所述种子层具有大于或等于且小于或等于的厚度，或者所述种子层比所述第一电极薄，并且其中，所述压电层包含氮化铝，并且所述氮化铝包含20wt％至40wt％的钪。
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