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摘要：高纯度流体控制阀，包括可移动控制板，具有流通通道以增强内部阀容积的流体冲扫。该阀为喷射式和阀座式，使用嵌套的孔脊，可在较小的致动器运动的情况下实现高传导性。流通控制板特别适用于快速动作的比例控制应用，例如半导体制造中的气体输送。
主权项：1.阀组件，包括：阀体，具有限定在所述阀体中的阀室、至少一个在所述阀室的底部形成在所述阀体中并且与所述阀室流体连通的第一流体导管孔、至少一个在所述阀室的底部形成在所述阀体中并且与所述阀室流体连通的第二流体导管孔、以及至少一对相邻的孔脊节段，所述至少一对相邻孔脊节段与所述阀体一体成形、从所述阀室的底部向上延伸、并限定了位于所述至少一对相邻孔脊节段之间的中间阀室部分，所述至少一个第一流体导管孔和所述至少一个第二流体导管孔中的一个为流体导管入口孔，并且所述至少一个第一流体导管孔和所述至少一个第二流体导管孔中的另一个为流体导管出口孔；和控制板，包括具有第一侧和与第一侧相反的第二侧的控制板主体，该控制板主体可在关闭位置和打开位置之间移动，在关闭位置，第一侧的一个表面区域与所述至少一对相邻孔脊节段发生密封接触，在打开位置，所述表面区域与所述至少一对相邻孔脊节段之间存在开放间隙，控制板具有至少一个流体通道，该流体通道在所述至少一对相邻孔脊节段的周界内从第一侧延伸穿过控制板主体到达第二侧，其中，所述控制板主体包括凹穴或凹口以能够钻出所述至少一个流体通道，并且其中，所述至少一个流体通道包括从所述凹穴或凹口向所述控制板主体的第二侧延伸的多个成角度流体通道。
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百度查询： 伊利诺斯工具公司 用于高传导性阀的控制板
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