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摘要：本发明涉及晶圆玻璃研磨技术领域，且公开了一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，包括研磨台，两个所述第一电动推杆的输出端均固定连接有半柱形防护套，所述研磨台的底部外表面固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定套设有侧L形杆，所述侧L形杆的竖直端外表面固定连接有弹簧，所述连接板远离弹簧的另一端固定连接有刮条。在研磨时，通过第一电动推杆带动半柱形防护套，避免研磨液大范围飞溅，并通过第一电机驱动侧L形杆转动带动连接板使得刮条将半柱形防护套内部粘附的研磨液进行刮取，从而能够防止研磨液大范围飞溅，且能够对半柱形防护套内壁上的研磨液进行刮取清理，避免其残留在半柱形防护套上而结晶。

主权项：1.一种晶圆玻璃载片研磨损伤层修复装置，包括研磨台（1），其特征在于：所述研磨台（1）的左右两侧外表面均固定连接有L形板（2），两个所述L形板（2）呈对称设置，两个所述L形板（2）相对的外表面间固定安装有第一电动推杆（3），两个所述第一电动推杆（3）的输出端均固定连接有半柱形防护套（4），所述研磨台（1）的底部外表面固定安装有第一电机（5），所述第一电机（5）的输出端固定套设有侧L形杆（6），所述侧L形杆（6）的竖直端外表面固定连接有弹簧（7），若干个所述弹簧（7）的另一端固定连接有连接板（8），所述连接板（8）远离弹簧（7）的另一端固定连接有刮条（9）；所述研磨台（1）的顶部外表面固定连接有顶架（10），所述顶架（10）的底部外表面靠后端固定连接有两个支撑杆（11），两个所述支撑杆（11）的底部外表面固定连接有调节座（12），所述调节座（12）的顶部内表面固定安装有第二电机（13），所述第二电机（13）的输出端固定套设有主动锥齿轮（14），所述调节座（12）的内表面呈圆周阵列转动连接有四个螺纹杆（15），四个所述螺纹杆（15）的外表面均固定套设有从动锥齿轮，四个所述从动锥齿轮均与主动锥齿轮（14）的外表面活动啮合，四个所述螺纹杆（15）的外表面螺纹连接有螺纹块（16），所述螺纹块（16）的顶部外表面固定安装有第二电动推杆（17），所述第二电动推杆（17）的输出端固定连接有定位柱（18）；所述顶架（10）的顶部外表面固定安装有气缸（21），所述气缸（21）的安装端与顶架（10）的顶部外表面固定连接，所述气缸（21）的输出端固定连接有固定架（22），所述固定架（22）的外表面固定安装有第三电机（23），所述第三电机（23）的输出端固定连接有研磨座，所述研磨座的外表面设置有研磨盘（24）；所述研磨台（1）的外表面开设有环形槽（25），所述环形槽（25）的内部设置有过滤板，所述环形槽（25）最外围的半径与半柱形防护套（4）的半径相同，所述研磨台（1）的底部四角处均固定连接有支撑脚，前侧两个所述支撑脚和后侧两个所述支撑脚相对的外表面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部外表面设置有承接盘（26），所述承接盘（26）的直径大于环形槽（25）的直径。

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