买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
摘要:本发明公开了一种防崩边的晶圆划片切割装置,涉及晶圆技术领域,包括底座,所述底座的顶部设置有第一直线驱动机构,所述第一直线驱动机构包括驱动装置和搭载架,所述底座的顶部固定安装有驱动装置,所述驱动装置的输出端固定安装有搭载架,所述搭载架的底部固定安装有第二直线驱动机构,所述第二直线驱动机构的输出端设置有切割机构,所述切割机构包括电机和划片刀,所述电机固定安装在第二直线驱动机构的输出端固定安装有电机,所述电机的输出端固定安装有划片刀,通过磨刀块与晶圆接触增加夹持面积,再利用磨刀块对切割机构进行自动修刀,有效清除划片刀表面粘附的金属,从而提高切割的精确性。
主权项:1.一种防崩边的晶圆划片切割装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有第一直线驱动机构(2),所述第一直线驱动机构(2)包括驱动装置和搭载架,所述驱动装置固定安装在底座(1)的顶部,所述搭载架固定安装在驱动装置的输出端上,所述搭载架的底部固定安装有第二直线驱动机构(3),所述第二直线驱动机构(3)的输出端设置有切割机构(4),所述切割机构(4)包括电机和划片刀,所述电机固定安装在第二直线驱动机构(3)的输出端,所述划片刀固定安装在电机的输出端上;还包括固定装置、防护装置和锁定装置;其中,固定装置包括装载座(5)、电动推杆(6)、夹板(7)、橡胶板(8)、圆柱杆(9)、磨刀块(10)和接触板(11),所述装载座(5)固定安装在底座(1)的顶部,所述电动推杆(6)固定安装在装载座(5)的顶部,所述夹板(7)固定安装在电动推杆(6)的输出端,所述夹板(7)上开设有收纳槽,所述橡胶板(8)转动安装在收纳槽的内壁,所述圆柱杆(9)固定安装在夹板(7)的底部,所述圆柱杆(9)远离夹板(7)的一端滑动安装在装载座(5)的顶部,所述磨刀块(10)滑动贯穿在装载座(5)的内外壁,所述接触板(11)固定安装在磨刀块(10)靠近圆柱杆(9)的一面,所述装载座(5)的顶部设置为T形,所述接触板(11)靠近圆柱杆(9)的一侧开设有斜面一;所述防护装置包括固定板(121)、伸缩杆(122)、一号弹簧(123)、C形板(124)、滑板(125)、抵块(126)和圆杆(127),所述固定板(121)固定安装在装载座(5)的顶部,所述伸缩杆(122)滑动贯穿在固定板(121)的内外壁,所述一号弹簧(123)设置在伸缩杆(122)与固定板(121)之间,所述C形板(124)固定安装在伸缩杆(122)远离固定板(121)的一端,所述滑板(125)滑动贯穿在C形板(124)靠近磨刀块(10)的一面,所述抵块(126)固定安装在滑板(125)远离磨刀块(10)的一面,所述抵块(126)滑动贯穿在C形板(124)的内外壁,所述圆杆(127)固定安装在伸缩杆(122)的圆周面上,所述圆杆(127)滑动贯穿在固定板(121)的顶部,所述C形板(124)与连接槽的内壁接触;所述滑板(125)远离抵块(126)的一面开设有波纹一,所述滑板(125)具有弹性;所述抵块(126)靠近弧面三的一面开设有斜面二,所述圆杆(127)的圆周面上开设有矩形槽;所述锁定装置包括搭载框(131)、滑杆(132)、Z形片(133)、矩形板(134)、限位块(135)、二号弹簧(136)和门形板(137),所述搭载框(131)固定安装在固定板(121)的顶部,所述搭载框(131)上开设有滑槽,所述滑杆(132)滑动安装在滑槽的内壁,所述Z形片(133)设置在滑杆(132)与滑槽之间,所述矩形板(134)固定安装在滑杆(132)靠近搭载框(131)的一端,所述限位块(135)滑动贯穿在矩形板(134)靠近圆杆(127)的一面,所述二号弹簧(136)设置在限位块(135)与矩形板(134)之间,所述门形板(137)滑动安装在搭载框(131)的顶部,所述Z形片(133)具有弹性。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡兴华衡辉科技有限公司 一种防崩边的晶圆划片切割装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。