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摘要：本发明提供了蒸镀设备及利用蒸镀设备制备钙钛矿电池的方法，该蒸镀设备包括：工艺腔与送卷腔之间设置有第一隔离门；出卷腔与工艺腔之间设置有第二隔离门，工艺腔位于送卷腔和出卷腔之间；蒸镀系统设置在工艺腔中；收放卷系统设置在工艺腔中，基片由送卷腔传送至收放卷系统，经蒸镀系统在基片上蒸镀多层膜层后传送至出卷腔；抽真空系统分别与收卷腔、工艺腔和出卷腔相连。通过设置送卷腔和出卷腔，一次开腔后，在工艺腔内可以制备多层膜层，无需中途开腔，降低工艺腔室多次破空，减少调工艺的时间，提高实验的效率；通过改变送卷腔、出卷腔的大小，增加柔性基片卷的长度，节省成本，优化源排布，实现共蒸、顺蒸，且可减小工艺腔室占地面积较小。

主权项：1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：送卷腔；工艺腔，所述工艺腔与所述送卷腔之间设置有第一隔离门；出卷腔，所述出卷腔与所述工艺腔之间设置有第二隔离门，且所述工艺腔位于所述送卷腔和所述出卷腔之间；蒸镀系统，所述蒸镀系统设置在所述工艺腔中；收放卷系统，所述收放卷系统设置在所述工艺腔中，基片由所述送卷腔传送至所述收放卷系统，经所述蒸镀系统在所述基片上蒸镀多层膜层后传送至所述出卷腔；抽真空系统，所述抽真空系统分别与所述送卷腔、所述工艺腔和所述出卷腔相连；在所述基片传送的方向上，所述收放卷系统包括：第一纠偏系统，所述第一纠偏系统设置在收卷系统远离所述送卷腔的一侧；等离子清洗系统，所述等离子清洗系统位于所述第一纠偏系统远离所述收卷系统的一侧，其中，所述蒸镀系统位于所述等离子清洗系统远离所述收卷系统的一侧，且与所述等离子清洗系统位于所述基片的同一侧；第二纠偏系统，所述第二纠偏系统设置在所述等离子清洗系统远离所述送卷腔的一侧；第一紧胀器，所述基片由第一导轮传送至所述第一紧胀器；第二紧胀器，所述基片由第二输送轮传送至所述第二紧胀器；所述第一纠偏系统和所述第二纠偏系统均包括至少一组光电传感器，一组所述光电传感器包括两个设置在所述基片相对两侧的对射光电传感器，当所述基片在传送过程中出现偏移时，会进行警告报警，同时所述第一紧胀器和或所述第二紧胀器对所述基片进行轻微倾斜调整，将所述基片重新调整到中间位置；所述第一紧胀器和所述第二紧胀器中均包括压力传感器，并通过伺服电机精准控制，以便实时控制所述基片的涨紧度；所述蒸镀系统包括等离子体发生器、点源坩埚和线源坩埚，所述等离子体发生器用于形成钙钛矿电池中的电极层，所述点源坩埚用于形成所述钙钛矿电池中的电荷传输层，所述线源坩埚用于形成所述钙钛矿电池中的钙钛矿吸收层。

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