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压印组合物和使用该组合物形成图案化层的方法 

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摘要:公开了一种溶胶‑凝胶压印油墨组合物,该溶胶‑凝胶压印油墨组合物包含:溶胶和添加剂,该添加剂用于在压印期间在压印温度下促进组合物的凝胶化。当与等体积的去离子水混合并且在20℃和1atm下进行测量时,组合物具有4至7的pH。添加剂是质子酸和接受质子的碱的可逆反应产物。在压印温度下,酸的蒸气压高于碱的蒸气压,使得在压印期间,组合物中的碱的浓度相对于组合物中的酸的浓度增加,从而导致组合物的碱化。进一步公开了一种利用此类溶胶‑凝胶压印油墨组合物形成图案化层的方法,以及分别包括该图案化层的光学元件和蚀刻掩模。

主权项:1.一种压印组合物,包含:溶胶,所述溶胶包括无机氢氧化物和或醇盐的水解产物;以及添加剂,所述添加剂用于在压印期间在15℃和120℃之间的压印温度下促进所述组合物的凝胶化,所述添加剂是质子酸和接受质子的碱的可逆反应产物,其中,当与等体积的去离子水混合并且在20℃和1atm下测量时,所述组合物具有4至7的pH,并且其中,在所述压印温度下所述酸的蒸汽压高于所述碱的蒸汽压,从而能够在所述压印期间碱化所述组合物。

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