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摘要：本申请涉及一种基于超表面的MEMS扫描器、眼动追踪系统，属于光学器件技术领域，其包括固定件、转动件、反射式超表面和电极组，所述转动件和所述反射式超表面分别固定于所述固定件的两侧，且所述转动件与所述固定件竖直设置，所述转动件处于所述反射式超表面下方，所述电极组设于所述反射式超表面的下方并位于所述转动件的两侧。本申请具有小型化、低功耗、高精度、可靠性高和快速响应等多种优点。
主权项：1.一种基于超表面的MEMS扫描器，其特征在于：包括固定件21、转动件22、反射式超表面23和电极组24，所述转动件22和所述反射式超表面23分别固定于所述固定件21的两侧，且所述转动件22与所述固定件21竖直设置，所述转动件22处于所述反射式超表面23下方，所述电极组24设于所述反射式超表面23的下方并位于所述转动件22的两侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州纳境科技有限公司 一种基于超表面的MEMS扫描器、眼动追踪系统
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