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摘要：本实用新型公开了一种碳化硅垫，所述碳化硅垫板开设有第一过孔组和第二过孔组，所述第一过孔组包括多个第一过孔，所述第二过孔组包括多个第二过孔，多个所述第一过孔和多个所述第二过孔均呈环绕式排布，所述第二过孔组围设于所述第一过孔组的外周，所述碳化硅垫板还开设有至少两个定位孔，所述定位孔靠近所述碳化硅垫板的外缘设置；本实用新型的碳化硅垫板能够便捷地清理胚件烧制过程中所产生的灰尘和杂质，且结构稳定。
主权项：1.一种碳化硅垫板，其特征在于，所述碳化硅垫板开设有第一过孔组和第二过孔组，所述第一过孔组包括多个第一过孔，所述第二过孔组包括多个第二过孔，多个所述第一过孔和多个所述第二过孔均呈环绕式排布，所述第二过孔组围设于所述第一过孔组的外周，所述碳化硅垫板还开设有至少两个定位孔，所述定位孔靠近所述碳化硅垫板的外缘设置。
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百度查询： 潮州市元辉碳化硅科技有限公司 碳化硅垫板
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