龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型公开了一种半导体生产用硅晶片平洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱顶面固定连接有盖板，所述清洗箱内壁固定连接有排水阀，所述清洗箱右侧固定连接有烘干箱，所述烘干箱内壁固定连接有风罩，通过固定组件固定硅晶片，启动传送机构驱动固定组件和硅晶片向右移动进入清洗箱中，启动喷淋机构抽吸清洗液喷向清洗箱中的硅晶片进行清洗工作，清洗完成后硅晶片向右移动进入烘干箱中，启动送风组件通过风罩将空气吹向硅晶片，通过翅片式加热器加热空气即可对硅晶片上残留的水渍进行烘干工作，实现了便于对多个硅晶片进行连续清洗和烘干工作的目标，避免了因现有平洗装置在使用时难以进行连续清洗和烘干工作，从而导致硅晶片生产效率降低的问题。
主权项：1.一种半导体生产用硅晶片平洗装置，包括清洗箱1，其特征在于，所述清洗箱1顶面固定连接有盖板2，所述清洗箱1内壁固定连接有排水阀3，所述清洗箱1右侧固定连接有烘干箱4，所述烘干箱4内壁固定连接有风罩5，所述风罩5内壁固定连接有翅片式加热器6，所述清洗箱1表面固定连接有支架7，所述支架7正面设置有传送机构，所述清洗箱1左侧设置有固定组件，所述盖板2顶面设置有喷淋机构，所述烘干箱4顶面设置有送风组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏威森美微电子有限公司 一种半导体生产用硅晶片平洗装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号