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摘要：本实用新型涉及一种可同步进行公转和自转的旋转架，包括转动架机构以及公自转驱动机构；公自转驱动机构与转动架机构驱动连接；转动架机构包括固定支架以及多个转架组件，多个转架组件均匀安装在固定支架中；公自转驱动机构包括驱动主轴、齿圈和多个驱动齿轮，驱动主轴与固定支架连接、且驱动主轴与外部驱动部件驱动连接；齿圈设置在驱动主轴的外侧、且齿圈与外部PECVD设备固定连接，每个转架组件均固定设置有一个驱动齿轮，驱动齿轮与齿圈相啮合；齿圈与驱动齿轮的齿数比为n：2，其中n为自然数且n≥2。本实用新型通过设置齿圈与驱动齿轮之间的齿数比关系，便于进行上下料操作；通过设置浮动承载机构，保证运行平稳。
主权项：1.一种可同步进行公转和自转的旋转架，其特征在于：包括转动架机构1以及公自转驱动机构2；所述公自转驱动机构2与所述转动架机构1驱动连接；所述转动架机构1包括固定支架11以及多个转架组件5，多个所述转架组件5均匀安装在所述固定支架11中，所述转架组件5能够相对于所述固定支架11进行旋转运动；所述公自转驱动机构2包括驱动主轴21、齿圈22和多个驱动齿轮23，所述驱动主轴21与所述固定支架11连接、且所述驱动主轴21与外部驱动部件驱动连接；所述齿圈22设置在所述驱动主轴21的外侧、且所述齿圈22与外部PECVD设备固定连接，每个所述转架组件5均固定设置有一个所述驱动齿轮23，驱动齿轮23与齿圈22相啮合；所述齿圈22与所述驱动齿轮23的齿数比为n：2，其中n为自然数且n≥2。
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百度查询： 深圳蓝海源科技有限公司 一种可同步进行公转和自转的旋转架
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