龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型提供一种门阀装置及外延反应设备，所述门阀装置包括机架、驱动组件、柔性管组件、连接组件和阀本体，驱动组件设于机架，柔性管组件的一端与驱动组件密封连接，连接组件的一部分穿设在柔性管组件内，并连接驱动组件，以在驱动组件的驱动下相对于机架沿水平方向和竖直方向移动，阀本体设于连接组件位于柔性管组件外的另一部分。本实用新型的门阀装置通过驱动组件驱动阀本体沿水平方向和竖直方向移动，当门阀装置设在对应的腔室时，阀本体能够完全封闭腔室的开口或通道，以确保开口或通道封闭时的密封性，同时通过柔性管组件确保腔室在开口或通道封闭时的密封性，避免门阀装置的设置影响腔室的密封性。
主权项：1.一种门阀装置，其特征在于，包括：机架1；驱动组件2，所述驱动组件2设于所述机架1；柔性管组件3，所述柔性管组件3的一端与所述驱动组件2密封连接；连接组件4，所述连接组件4的一部分穿设在所述柔性管组件3内，并连接所述驱动组件2，以在所述驱动组件2的驱动下相对于所述机架1沿水平方向和竖直方向移动；阀本体5，所述阀本体5设于所述连接组件4位于所述柔性管组件3外的另一部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司 门阀装置及外延反应设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号