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摘要：本申请涉及一种定距器和半导体设备。定距器包括主体及多个滚动组件；主体包括手持部及环形部，手持部位于环形部的顶部，且与环形部相连接；多个滚动组件至少套置于环形部的底边及相对的侧边上。半导体设备包括腔体，内衬，固定环以及上述定距器；内衬位于腔体内，并沿腔体的内周壁的周向设置；固定环位于腔体内，抵接在内衬上；定距器设置于内衬与固定环之间。在使用定距器对固定环和内衬进行间距调整时，能够确保固定环和内衬之间距离的准确性和均匀性，避免通过目视测距带来的校准误差，确保固定环对沉积环不同区域的覆盖面积相同，并且减少由于目视误差带来的反复调整，以及避免由于安装中反复调整，致使固定环与内衬互相摩擦掉落杂质颗粒。
主权项：1.一种定距器，其特征在于，包括：主体，所述主体包括手持部及环形部；所述手持部位于所述环形部的顶部，且与所述环形部相连接；多个滚动组件，多个所述滚动组件至少套置于所述环形部的底边及相对的侧边上。
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百度查询： 上海积塔半导体有限公司 定距器和半导体设备
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