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摘要：本实用新型公开了一种PVD反应装置，涉及镀膜技术领域，包括连接筒，连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母一，紧固螺母一的外表面螺纹连接有夹具上板，连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母二，紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具下板，紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具底座，夹具上板的内部转动连接有主动轮，主动轮的内部开设有固定孔。它能够通过主动轮、从动组件和套筒之间配合使用，从而能够实现齿轮之间的传动效果，将拨叉结构设计为齿轮传动，可使套筒的自转速度可控，提高镀膜的均匀性，夹具一次组装完成后，无需每次镀膜前与镀膜后安装拆卸拨叉，提高了效率，且拨叉结构设计在夹具内部，不占用镀膜室内空间，避免了干涉。
主权项：1.一种PVD反应装置，包括连接筒1，其特征在于：所述连接筒1的内部螺纹连接有紧固螺母一2，所述紧固螺母一2的外表面螺纹连接有夹具上板3，所述连接筒1的内部螺纹连接有紧固螺母二5，所述紧固螺母二5的外表面螺纹连接有夹具下板6，所述紧固螺母二5的外表面螺纹连接有夹具底座7，所述夹具上板3的内部转动连接有主动轮8，所述主动轮8的内部开设有固定孔4，所述主动轮8的外侧设有从动组件9，所述夹具下板6的上方设有套筒10。
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百度查询： 湖北江海行纳米科技有限公司 一种PVD反应装置
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