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一种硅片清洗设备槽体结构 

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摘要:本实用新型属于太阳能电池技术领域,具体公开一种硅片清洗设备槽体结构,包括清洗槽本体,所述清洗槽本体的相对两侧面内分别固接有阳极电极片和阴极电极片,所述阳极电极片和阴极电极片分别导线连接至同一直流电源;位于所述阴极电极片下方的所述清洗槽本体上连接有曝气装置,所述曝气装置具有朝向所述阴极电极片一侧的开孔,所述曝气装置通过导管连接位于所述清洗槽本体外侧的供气装置。本实用新型将电化学氧还原技术引入生产中,减少过氧化氢用量,降低危险化学品的运输及储存的风险,同时可以降低清洗过程因添加剂使用带来的废水高COD问题。

主权项:1.一种硅片清洗设备槽体结构,包括清洗槽本体,其特征在于,所述清洗槽本体的相对两侧面内分别固接有阳极电极片1和阴极电极片3,所述阳极电极片1和阴极电极片3分别导线连接至同一直流电源2;位于所述阴极电极片3下方的所述清洗槽本体上连接有曝气装置6,所述曝气装置6具有朝向所述阴极电极片3一侧的开孔,所述曝气装置6通过导管连接位于所述清洗槽本体外侧的供气装置5。

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