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摘要：本实用新型公开了一种便于氦气孔通畅性检测的气道型静电卡盘结构，包括：卡盘本体，所述卡盘本体的内部设置有腔体，所述卡盘本体的上端开设一进气孔，所述卡盘本体的下端开设有若干个氦气孔，所述进气孔与所述氦气孔均与所述腔体连通设置；注水管道，所述注水管道设置在所述进气孔的上端并与其连通设置。本实用新型设计的气道型静电卡盘结构，在卡盘本体的进气孔处连通一个注水管道，可以通过注水管道向腔体内部注水并从氦气孔流出，从而实现对氦气孔通畅性的检测；通过密封圈以及相关结构的设置，保证了注水检测时腔体的密封性，从而保证检测的准确性。
主权项：1.一种便于氦气孔通畅性检测的气道型静电卡盘结构，其特征在于，包括：卡盘本体1，所述卡盘本体1的内部设置有腔体，所述卡盘本体1的上端开设一进气孔2，所述卡盘本体1的下端开设有若干个氦气孔3，所述进气孔2与所述氦气孔3均与所述腔体连通设置；注水管道4，所述注水管道4设置在所述进气孔2的上端并与其连通设置。
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百度查询： 苏州众芯联电子材料有限公司 一种便于氦气孔通畅性检测的气道型静电卡盘结构
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