买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
摘要:本发明涉及关于掩膜板清洗设备技术领域的一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置。包括有安装架,所述安装架的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块,所述电动滑块滑动连接有滑动架,所述滑动架的下侧固接有镜像且等距分布的固定杆,所述固定杆的下侧设置有滑动块,所述滑动块的下侧滑动连接有支撑板,镜像所述滑动块的相向侧均设置有固定壳,所述固定壳的下侧滑动连接有吸附壳,所述吸附壳的下侧设置有橡胶圈。本发明通过吸附壳对掩膜板的吸附上升,配合支撑板的支撑作用,达到对掩膜板稳定夹持的目的,避免了夹取掩膜板时夹持力控制不准确的情况,提高了掩膜板被夹持移动过程中的安全性。
主权项:1.一种掩膜板夹具,包括有安装架(1),所述安装架(1)的上侧通过电动滑轨滑动连接有电动滑块(2),所述电动滑块(2)滑动连接有滑动架(3),所述电动滑块(2)固接有第一电推杆(4),所述第一电推杆(4)的伸缩端与所述滑动架(3)固接,其特征在于:还包括有镜像且等距分布的固定杆(5),镜像且等距分布的所述固定杆(5)均固接于所述滑动架(3)的下侧,所述固定杆(5)的下侧设置有滑动块(6),所述滑动块(6)的下侧滑动连接有支撑板(7),所述支撑板(7)与对应所述滑动块(6)之间固接有拉簧,镜像所述滑动块(6)的相向侧均设置有固定壳(8),所述固定壳(8)的下侧滑动连接有吸附壳(9),所述吸附壳(9)的下侧设置有橡胶圈,所述吸附壳(9)的上侧设置有通孔,所述固定壳(8)的侧壁上设置有用于控制对应所述吸附壳(9)进行吸附的吸附机构,所述滑动架(3)上设置有用于控制镜像且等距分布的所述支撑板(7)复位的复位机构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 江苏路芯半导体技术有限公司 一种掩膜板夹具及防死角式清洗装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。