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摘要：本发明涉及半导体芯片外观瑕疵检测技术领域，具体地说，涉及一种一次检测芯片五面外观瑕疵的自动光学检测装置。其包括一台相机、一个镜头、一个同轴光组、一个菱镜组和一个环形光源，用于实现芯片一次5个面的检测；同轴光组通过上下反射采集芯片1个大面；环形光源通过照射菱镜组后，将位于菱镜组内的芯片4个侧面向下反射，并由同轴光组反射采集芯片的4个面；通过同轴光组反射后与镜头平行的光路，穿过镜头至相机成像。本发明通过设置的菱镜组和同轴光组，可以在一次检测时，将芯片的4个短面和一个大面进行检测，检测6个面只需要进行2次检测即可，且成本相较于现有技术大大降低，同时检测效率提高，从而使的整体的生产效率提高。
主权项：1.一种一次检测芯片五面外观瑕疵的自动光学检测装置，其特征在于：包括一台相机10、一个镜头20、一个同轴光组30、一个菱镜组40和一个环形光源50，用于实现芯片一次5个面的检测；所述同轴光组30通过上下反射采集芯片1个大面；所述环形光源50通过照射菱镜组40后，将位于菱镜组40内的芯片4个侧面向下反射，并由同轴光组30反射采集芯片的4个面；通过所述同轴光组30反射后与镜头20平行的光路，穿过镜头20至相机10成像。
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