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摘要:本发明公开了爆炸箔起爆系统平面开关的制备工艺,包括以下步骤:基板冲孔;孔内添浆:用钨锰导体浆料对冲孔后的生瓷带的导电孔进行填充;导体印刷:利用间隙丝网印刷技术,将钨锰导体浆料按照设计图案在对应基板层上进行印刷,形成导电层;叠压成型;划片高温烧结;表面处理;充气封接:在特定气氛下,利用金锡焊料将待封装平面开关工件与盖板进行封接;接口表面处理。本发明采用高温烧结技术,对应采用的钨锰导体浆料进行导电层印刷和导电孔填充,从而可以更好的提高开关的抗烧蚀性,高能放电;同时,采用充气封接步骤实现平面开关的充气和封装两个功能,不仅可以保证产品封装的气密性,还可以实现产品内部气氛满足设计要求。
主权项:1.爆炸箔起爆系统平面开关的制备工艺,其特征在于:包括以下步骤:基板冲孔:将氧化铝生瓷带放入专用钢框中,固定位置,按照需要开孔的生瓷带的图案进行打孔,形成带导电孔的基板层;孔内添浆:用钨锰导体浆料对冲孔后的生瓷带的导电孔进行填充;导体印刷:利用间隙丝网印刷技术,将钨锰导体浆料按照设计图案在对应基板层上进行印刷,形成导电层;叠压成型:将印刷完后的生瓷带按照图层顺序依次校位叠加,然后用等静压力机压实;划片:将压实后的基板层,利用激光进行划片;高温烧结:将划片后的产品在烧结炉中进行烧结,得到待封装平面开关工件;表面处理:在待封装平面开关工件的盖板封接处设置金锡焊料;充气封接:在特定气氛下,利用金锡焊料将待封装平面开关工件与盖板进行封接,控制好封接气压,从而使封接后腔体内气氛和气压满足设计要求;接口表面处理:对接口贴片导体部位进行表面电镀镍和金处理。
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