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摘要:本发明公开了一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,涉及锑化镓晶片加工技术领域,解决了在对锑化镓晶片进行抛光加工时,对于限位盘使用尺寸固定,对于限位盘卡合拆装更换便捷性不高,和对于抛光盘表面调节清理效果不高,及对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌和自动刮除同步性不高的问题。该加工平台,包括装置主体、抛光盘、搅拌桶、连接泵口、连接头、输送管、连接架、放置盘、晶片主体、限位盘、压板、定位板和调节机构,所述装置主体的外壁旋转连接有抛光盘;在本发明中,可一次性完成对不同尺寸轮廓的限位盘卡合拆装更换,对于抛光盘表面杂质调节清理,和达到对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌,和对搅拌桶内壁吸附的抛光液自动刮除搅拌的效果。
主权项:1.一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,包括装置主体1、抛光盘2、搅拌桶3、连接泵口4、连接头5、输送管6、连接架7、放置盘8、晶片主体9、限位盘10、压板11、定位板12和调节机构21,其特征在于:所述装置主体1的外壁旋转连接有抛光盘2,所述装置主体1的外壁固定连接有搅拌桶3,所述连接泵口4设置于搅拌桶3的顶部,所述连接泵口4的内壁可拆卸连接有连接头5,所述连接头5的外壁固定连接有输送管6,所述装置主体1的外壁固定连接有套接于输送管6外壁的连接架7,所述放置盘8放置于抛光盘2的表面,所述放置盘8的底部设置有晶片主体9,所述放置盘8的外壁套接有限位盘10,所述限位盘10的内壁放置有与放置盘8顶部相贴合的压板11,所述限位盘10的内壁放置有位于压板11上方的定位板12;所述调节机构21包括有:滑动组件13,所述装置主体1的外壁旋转连接有第一螺纹杆1301,所述第一螺纹杆1301的一端固定连接有第一旋钮1302,所述第一螺纹杆1301的外壁螺纹连接有与装置主体1外壁滑动连接的移动杆1303,所述装置主体1的外壁与移动杆1303的连接部位开设有滑槽1304;升降组件14,所述移动杆1303的外壁旋转连接有第二螺纹杆1401,所述第二螺纹杆1401的一端固定连接有第二旋钮1402,所述第二螺纹杆1401的外壁螺纹连接有与移动杆1303外壁滑动连接的升降块1403,所述移动杆1303的外壁与升降块1403的连接部位开设有固定槽1406,所述升降块1403的外壁旋转连接有衔接块1404,所述衔接块1404的外壁卡合连接有调节盘1405;其中,所述调节盘1405的两端旋转连接有与放置盘8外壁相贴合的辅助轮1407。
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