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摘要:本发明公开了一种OLED面板的双层LTPO背板结构,包括基板、绝缘层PV1、GI层、绝缘层PV2、绝缘层PV3、有机平整层OC,基板上镀上金属层M0,绝缘层PV1覆盖在金属层M0上,绝缘层PV1上镀上a‑si非晶硅层,绝缘层PV1上打VIA1洞,P+层上镀上金属层M0.5,GI层覆盖半导体层、P+层和金属层M0.5,GI层上镀上金属层M1,与P+层形成储存电容Cst;绝缘层PV2覆盖金属层M1,绝缘层PV2镀膜形成IGZO半导体层,IGZO半导体层上分别镀上GI层和金属层M2,GI层将金属层M2与IGZO半导体层隔开;绝缘层PV3覆盖金属层M2和IGZO半导体层,绝缘层PV3上打VIA3洞,绝缘层PV3上镀上金属层M3;本发明公能分别发挥LTPS高电子迁移率、高可靠性和IGZO低漏电流的优点,使OLED面板能达到高分辨率、高稳定性、低功耗的要求。
主权项:1.一种OLED面板的双层LTPO背板结构,包括基板、绝缘层PV1、GI层、绝缘层PV2、绝缘层PV3、有机平整层OC、LTPSTFT半导体层,其特征在于:所述基板上镀上金属层M0,所述绝缘层PV1覆盖在金属层M0上,所述绝缘层PV1上镀上a-si非晶硅层,所述LTPSTFT半导体层包括多晶硅半导体层和P+层;所述绝缘层PV1上打VIA1洞,所述P+层上镀上金属层M0.5,所述GI层覆盖半导体层、P+层和金属层M0.5,所述GI层上镀上金属层M1,与P+层形成储存电容;所述绝缘层PV2覆盖金属层M1,所述绝缘层PV2镀膜形成IGZO半导体层,所述IGZO半导体层上分别镀上GI层和金属层M2,所述GI层将金属层M2与IGZO半导体层隔开;所述绝缘层PV3覆盖金属层M2和IGZO半导体层,所述绝缘层PV3上打VIA3洞,所述绝缘层PV3上镀上金属层M3;所述有机平整层OC覆盖金属层M3,所述有机平整层OC上打OC洞,所述有机平整层OC上镀上阳极金属层与金属层M3相连,接收OVDD电流讯号,所述有机平整层OC上镀上画素定义层PDL,并在阳极金属层处开口,是作为放置OLED的区域;所述a-si非晶硅层通过准分子激光退火工艺转化为多晶硅半导体层,通过高浓度硼离子注入工艺,形成欧姆接触用的P+层;所述金属层M3作为开关TFT的源极、漏极,漏极接收外部IC送入的数据电压讯号,源极和金属层M1相连,将数据电压讯号送到驱动TFT的金属层M1并存储在储存电容中。
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