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摘要：本发明公开一种砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，通过电镀法或化学镀法制备镍层，通过蒸镀法或磁控溅射法制备锗层和部分银层，再通过电镀法进行银层加厚。制备镍锗银电极，其中镍层和锗层分别采用不同的制备方法，将电镀工艺和蒸镀工艺结合，最大程度降低了生产成本，同时保证了镍层的品质，避免真空蒸镀法中镍和坩埚套共熔的现象，还可以避免磁控溅射法中金属镍对其他腔体的污染的问题；另外本发明通过电镀工艺或化学镀制备镍层，最大限度的利用了金属材料，减少了金属材料的浪费；电镀工艺设备简单，维护成本低，规模化生产成本低，化学品的排放量很少；电镀可以批量同步生产，工时更短。
主权项：1.一种砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一：涂胶，对电池受光面进行涂胶；步骤二：腐蚀，对下电极待蒸镀表面进行腐蚀活化；步骤三：镍层制备，在外延片外侧通过电镀法或化学镀法制备镍层；步骤四：锗银层制备，在镍层外侧依次通过蒸镀法或磁控溅射法制备30nm-100nm锗层和50nm-500nm银层；步骤五：加厚银层制备，对电池下电极进行电镀加厚银层。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第十八研究所 天津恒电空间电源有限公司 一种砷化镓太阳电池镍锗银电极的制备方法
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