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摘要:本申请涉及使用相同材料形成的激光面和钝化装置的移位预处理。具有镜面的边缘发射激光二极管,其包括钝化涂层,所述钝化涂层使用移位工艺处理,以处理用于形成钝化层的绝缘材料。利用外部能量源激光、闪光灯、电子束以给定的剂量和足够的时间照射材料,以处理钝化层的整个厚度。这种移位激光处理被应用于覆盖激光二极管的两个端面的层可能包括钝化层和涂层,以稳定整个端面涂层。重要的是,当装置仍处于条形状态时,可以执行该移位工艺。
主权项:1.一种边缘发射激光二极管,包括:半导体基板,其具有形成在其上的用于在工作波长下产生光的波导结构;形成在所述波导结构的相对面上的一对切割面;一对辐照钝化层,每个辐照钝化层包括选自由以下项组成的组的均匀材料:硅、锗、锑及其氧化物和氮化物,每个辐照钝化层形成为具有预定厚度并布置为覆盖一对切割面的相关切割面,每个辐照钝化层在其所述预定厚度上表现出均匀结构,提供一对调节的辐照钝化层;以及直接形成在所述一对辐照钝化层中的至少一个调节的辐照钝化层上的反射涂层。
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权利要求:
百度查询: II-VI特拉华有限公司 使用相同材料形成的激光面和钝化装置的移位预处理
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