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摘要：本公开提供了热处理设备的调温校准方法、装置、设备以及存储介质。该方法包括：S1、单独开启热处理设备的多个加热灯中的目标加热灯，并将所述目标加热灯调节至第一功率值；S2、测量与所述目标加热灯对应的多个第一测温点的第一温度值；S3、根据所述多个第一测温点的第一温度值的平均值，调节所述目标加热灯至第二功率值，以使得所述平均值与目标工艺温度相同；S4、测量在所述第二功率值下，多个关联测温点的第二温度值；S5、在根据所述第二温度值确定所述目标加热灯的辐射能差异满足使用要求的情况下，根据所述第二功率值，校准所述功率－温度曲线。根据本公开的方案，可以精确校准各条形灯的功率，提高腔室控温精度，有助于腔室达到所需工艺温度。
主权项：1.一种热处理设备的调温校准方法，包括：S1、单独开启热处理设备的多个加热灯中的目标加热灯，并将所述目标加热灯调节至第一功率值；其中，所述加热灯为条状灯；所述第一功率值根据目标工艺温度和功率－温度曲线确定；S2、测量与所述目标加热灯对应的多个第一测温点的第一温度值；其中，所述多个第一测温点沿所述目标加热灯的长度方向布置；S3、根据所述多个第一测温点的第一温度值的平均值，调节所述目标加热灯至第二功率值，以使得所述平均值与目标工艺温度相同；S4、测量在所述第二功率值下，多个关联测温点的第二温度值；其中，所述多个关联测温点包括所述多个第一测温点和至少一个第二测温点，所述第二测温点沿所述目标加热灯的长度方向布置，且所述第二测温点在所述多个第一测温点之间连线的延长线上；S5、在根据所述第二温度值确定所述目标加热灯的辐射能差异满足使用要求的情况下，根据所述第二功率值，校准所述功率－温度曲线。
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百度查询： 北京屹唐半导体科技股份有限公司 热处理设备的调温校准方法、装置、设备及存储介质
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