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摘要：示例性模块化气体区块可包括具有入口端和出口端的主体。主体可限定沿着主体的长度的第一气体路径的部分，并且可限定沿着主体的宽度的第二气体路径。第一气体路径可包括被限定在主体内的通道段。入口端可限定与第一气体路径耦合的气体入口。主体可限定与第一气体路径耦合的第一流体端口。第一流体端口中的流体端口可与气体入口耦合。第一流体端口可经由相应的通道段彼此耦合。上表面可限定横向流体端口，所述横向流体端口沿着宽度与第一流体端口间隔开，并且经由第二气体路径与第一流体端口耦合。
主权项：1.一种模块化气体区块，包含：具有入口端和出口端的块体，所述块体限定沿着所述块体的长度的第一气体路径的部分，并且限定沿着所述块体的宽度的第二气体路径，其中：所述第一气体路径包含被限定在所述块体内的多个通道段；所述块体的所述入口端限定与所述第一气体路径流体耦合的气体入口；所述块体的上表面限定与所述第一气体路径流体耦合的第一多个流体端口；所述第一多个流体端口中的第一流体端口与所述气体入口流体耦合；所述第一多个流体端口中的至少一些经由所述多个通道段中的相应一者彼此耦合；以及所述块体的所述上表面限定横向流体端口，所述横向流体端口沿着所述块体的所述宽度与所述第一多个流体端口中的相应一者间隔开，并且经由所述第二气体路径与所述第一多个流体端口中的所述相应一者耦合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 模块化的多方向性气体混合区块
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