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摘要：披露了用于多层量测的方法、设备和软件。一种方法包括利用SEM系统获得物体的图像数据，其中，在多个着陆能量水平处获取所述图像数据。通过执行对所述图像数据的逐像素图像处理产生合成图像。从所述合成图像确定量测特性，并且基于所述量测特性对特征执行量测。
主权项：1.一种方法，包括：利用SEM系统获得物体的图像数据，在多个着陆能量水平处获取所述图像数据；通过执行对所述图像数据的逐像素图像处理产生合成图像；从所述合成图像确定量测特性；以及基于所述量测特性对特征执行量测，其中，所述特征经由半导体制造过程被制造在晶片上。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 用于多层量测的系统、方法和软件
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